製品概要
“より迅速に、より簡単”に分析。デュアルビューテクノロジー、全元素同時測定機能、日常メンテナンスの軽減による高いスループットを実現
特長
超高速IRイメージングを実現 イメージングエリアは自由に可変
・世界で初めて赤外顕微鏡の自動ステージとリニア MCT アレイ検出器を同期させたSynchroScan 干渉計同期システム（特許技術）
・干渉計がスペクトルを取得して初期の位置に戻る際に、自動ステージが干渉計の動きに同期して高速に移動
イメージングと顕微IR測定の両立
・特許の Duet™ 検出器はリニアアレイ素子と単素子を同一面状に配列し、デュワーに組み入れ
・検出器を切替える事無くイメージングから、透過／反射測定に加え、顕微 ATR 測定も可能
・様々なアプリケーションに最適性能を保証
検出器のピクセルサイズは1.56 µm (ATR), 6.25 µm, 25 µm, 50 µmから選択
ソフトウェア制御で検出素子への倍率を調整し、空間分解能を指定できます。面倒な部品交換などは不要
ATRイメージング対応
・標準クリスタルは 400 µm × 400 µm までの広域測定に対応
・ラージタイプは 750 µm × 750 µm ～ 400 µm × 1000 µm の広範囲測定が可能
低波数までイメージング測定が可能
標準で 650 cm-1 までさらに、業界唯一の広帯域アレイ（～ 580 cm-1）や InGaAs 検出器も選択可能（オプション）
【低波数検出バンドの例：解析バンド】
・ベンゼン環の置換位置：900 – 650 cm-1
・ポリプロピレン – 共重合体：800 – 700 cm-1
・塩化ビニルの定性 (C-Cl)：700 – 600 cm-1
・Si ウェハ中の炭素：600 cm-1
仕様
| 可視観察 | CCD カメラ |
| 可視光源 | 白色 LED |
| ポイント測定モード | 透過 / 反射 / ATR |
| イメージング測定モード | 透過 / 反射 / ATR |
| ポイント測定波数範囲 | 7800 – 600 cm-1 (MCT) |
| 10000 – 4000 cm-1 (InGaAS) | |
| イメージング測定波数範囲 | 7800 – 650 cm-1 (透過、反射) |
| 4500 – 680 cm-1 (ATR) | |
| 7800 – 580 cm-1 (広帯域MCT、オプション） | |
| 7800 – 4000 cm-1 (InGaAS、オプション) | |
| ポイント測定SN比 | 12000 : 1 (1分間積算) |
| イメージングピクセルサイズ | 50 µm × 50 µm、25 µm × 25 µm、6.25 µm × 6.25 µm |
| ATRイメージングピクセルサイズ | 6.25 µm × 6.25 µm、1.56 µm × 1.56 µm |
| イメージングエリア | 100 µm × 100 µm ～ 50 mm × 50 mm 任意可変 |
| ATRイメージングエリア | 最大 400 µm × 400 µm、100 µm × 500 µm (標準クリスタル) |
| 最大 750 µm × 750 µm、400 µm × 1000 µm (ラージクリスタル) | |
| マイクロATR | 100 µmφ 円錐状 Ge 結晶 (標準) |
| 100 µmφ 円錐状 Si 結晶 (オプション) | |
| 100 µmφ 円錐状 DLC-Ge 結晶 (オプション) | |
| オートATR | クリスタルの出し入れをソフトウェアで制御 |
| ソフトウェア制御による圧力モニター | |
| ステージ | XYZ オートステージ |
| オート制御 | ラインスキャン、マッピング、XYZ ステージ、 オートフォーカス、オートコレクション、アパーチャー、 透過/反射切替、赤外/可視切替、照明輝度 |
| ステージ | 75 × 50 mm (標準ステージ) |
| 160 × 60 mm (ラージステージ、オプション) | |
| サイズ (W × H × D) | Spotlight本体：340 × 470 × 570 mm Spectrum 3本体：520 × 300 × 600 mm |
| 重量 | Spotlight：32 Kg Spectrum 3：34 Kg |
