概要

最高水準の高精度を実現した、ZEISS PRISMO® シリーズ最上位モデル

特長

最高水準の高精度

E0, MPE = 0.5+L/500 μm の高精度を実現
・高精度・高速でのスキャニング測定を実現するアクティブスキャニングセンサ VAST gold搭載
・エアベアリングによる4方向からのガイド支持で、駆動時のねじれを防止
・温度変化によるガイドの伸縮に影響を受けない、独自のフローティングスケール保持方式
・ブリッジ部に温度変化の影響が極めて少ない材質を使⽤
・環境温度に左右されない測⻑システム

超高分解能スケールを搭載

0.02 μmスケールを各軸に搭載

高効率

・スキャニングパラメータの新設定により、スキャニング測定速度が2倍以上に大幅アップ
・「VAST Navigator」により⾼精度かつ⾼速でスキャニング測定　Navigator機能(VAST gold/XT gold/XTR gold 使用時)
・「VAST Performance」 FlyScan 機能により穴や切り欠き形状を気にせずスキャニング測定(VAST gold/XT gold/XTR gold 使用時)
・新機能「ZEISS VAST Rotary Table Axis(ZVRA、オプション) 」によりロータリテーブルの回転軸定義を高速化
・「CALYPSO VAST probing」によりポイント測定を高速化
・「VAST Performance」 QuickChange 機能によりスタイラス交換を高速化