概要

広範囲にピントが合い、かつ、高精度に測定が可能

特長

・画面内精度±1.5µm、高分解能モードで繰返し精度±0.7µm（QI-Bシリーズ）で、広範囲にピントが合い高精度に測定
・作動距離90mmを確保しているため、凸凹のあるワークでも衝突の心配なくピント合わせが可能
・±(3.5＋0.02L)μmの精度で、信頼あるデータの取得
・最大積載質量20kgと高さ方向100mmのストロークが、大物ワークの測定を可能
・視野に収まらない大きなワークを、スティッチング（複数画像連結）により全体表示画像で測定
・測定箇所をすばやく見つけることができ、測定忘れも一目で把握
・エッジをワンクリックするだけで、誰でも簡単に多点測定が可能
・異常点除去機能で、自動的に不要な測定点をカットし、正確で安定した多点測定が可能
・最大22mmの段差までの焦点深度範囲内では、高さ位置による誤差を極限まで低減し、ピント合わせによる個人誤差を抑えた測定が可能
・円筒加工物の測定にも適する
・ワンクリック実行機能で、画面内の複数ワークをパターンサーチし、一度に効率よく測定
・正確な位置決めが不要となり、面倒な治具の準備も不要
・XYステージを楽に動かせるため、長寸法の測定に威力を発揮
・スティッチングは始点と終点を指示すだけで電動ステージが自動で動きますので、簡単に全体表示画像を入手

仕様