商品詳細

Product

INFINITE POSSIBILITIES

走査電子顕微鏡 JSM-IT710HR

    • 観察・試料作成
    • 電子顕微鏡(SEM・TEM)

メーカー名:日本電子株式会社

製品概要

FE電子銃搭載の汎用SEM 
自動機能も進化し、走査電子顕微鏡の総合力を大きく向上

特長

SEM像とEDS分析の取得を自動化 「Simple SEM」

SEM像の取得条件と視野の選択を行うだけで、あとは自動でSEM像とEDS (エネルギー分散X線分光法) 分析の取得を行う機能です。分析業務を含めたルーティンワークの効率化に貢献します。

その場で3D像を構築「Live3D」

SEM観察しながらその場で3D像を構築し、凹凸・深さ情報が得られます。

従来システム約5倍のエリアの光学像を取得「ステージナビゲーションシステムLS」

観察試料の光学像を取得し、光学像をクリックするだけで目的の観察視野へ移動が可能です。従来のステージナビゲーションシステムと比較して約5倍のエリアの光学像を取得できます。

低真空下でも詳細な凹凸情報を取得 「低真空ハイブリッド二次電子検出器 (LHSED) 」

二次電子が残留ガス分子に衝突した際に発生する電子と励起光を検出することで、低真空下でも詳細な凹凸情報が得られます。

5軸モーター試料ステージ

5軸モーター試料ステージを標準搭載し、凹凸試料のSEM画像取得やEDS分析も可能です。

電子銃の安定性を向上

電子ビーム安定度をさらに向上させ、多試料を同時に搭載可能な試料ホルダーを用いた、長時間の連続自動運転に対応します。

仕様

分解能高真空モード:1.0㎚(20kV)3.0㎚(1.0kV)
分 析 時 :3.0㎚(15kV 照射電流3nA)
低真空モード:1.8㎚(15kV BED)
写真倍率×5~×600,000
(128mm×96mmを表示サイズとして倍率を規定)
表示倍率×15~×1,767,305
モニター上の画像倍率
(377mm×283mmを表示サイズとして倍率を規定)
電子銃ショット―キ電界放出電子銃
加速電圧0.5kV~30kV
最大試料寸法200mm径×75mm高さ
200mm径×80mm高さ※
32mm径×90mm高さ※
※オプションホルダーが必要です
試料ステージ大型ユーセントリック式
X:125mm Y:100㎜ Z:80mm 傾斜:-10~90° 回転:360°

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