概要
・光学顕微鏡だけではわからない形状＆組成を迅速に確認
・異物解析や品質管理を効率化する機能を各種搭載した卓上SEM
特長
異物解析や品質管理を効率化する機能を各種搭載
・色情報が得られるCCD画像と表面詳細情報が得られるSEM像が連動するZeromag機能により素早く快適な視野探しが可能
・2軸モーターステージ（X,Y）により作業効率に優れモンタージュ撮像にも対応可能
・観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、効率の良い元素分析が可能
・Live3D機能によりSEM観察しながらその場で３D像構築し凹凸・深さ情報の取得が可能
仕様
| 写真倍率 | ×10 ～ 100,000 （128 mm × 96 mm を表示サイズとして倍率を規定） |
| 表示倍率 | ×24 ～ 202,168 (280 mm × 210 mm を表示サイズとして倍率を規定） |
| 画像モード | 高真空モード：二次電子像、反射電子像 （組成、凹凸、立体、３D） |
| 低真空モード：反射電子像 （組成、凹凸、立体、３D） | |
| 加速電圧 | 5 kV、10 kV、15 kV（3 段） |
| 電子銃 | タングステンフィラメント・ウェーネルト一体型グリッド |
| 試料ステージ | X-Y モーター駆動ステージ X : 40 mm Y : 40 mm |
| 最大試料寸法 | 80 mm 径 50 mm 高 |
| 試料交換 | ステージ引出し式 |
| 画素数 | 640 × 480､1,280 × 960、 2,560 × 1,920、5,120 × 3,840 |
| 自動機能 | アライメント調整、フォーカス、非点、露出調整 |
| 計測機能 | 2 点間測定、角度測定、線幅測定 |
| ファイル形式 | BMP、TIFF、JPEG、PNG |
| コンピューター | デスクトップ PC OS Windows® 10 |
| モニター | 24 型 |
| 排気系 | 完全自動、TMP: 1 台、RP: 1 台 |
