ZEISS Sigma360　電界放出型走査電子顕微鏡

概要

高画質イメージングと高度な解析を実現する電界放出型SEM。
・1kV以下で強みを発揮
・直感的なイメージングワークフロー
・困難な条件でもVPイメージングを実現

特長

コア施設から選ばれる直感的なイメージング

・セットアップからAIによる結果取得まで、専用のガイドに従って操作するだけの直感的なイメージングワークフローをご体験ください。
・1kV以下でも優れた解像度と最適なコントラストを実現
・VPイメージングにより、非導電体の非常に困難な条件でも優れた結果を取得可能

直感的なイメージングワークフロー　セットアップからAIによる結果取得まで

・初心者でも専門知識に基づいた結果取得が可能です。使いやすく覚えやすいワークフローにより、ナビゲーションから後処理までの各ステップが効率化され、高速イメージングを実現します。また、トレーニングに必要な時間も短縮できます。
・ZEISS SmartSEM Touchソフトウェア自動化によってナビゲーション、パラメータ設定、画像取得を開始できます。
・ここで、タスク固有のツールキットを備えた、後処理に最適なZEN coreが役立ちます。最も推奨されているのは、機械学習に基づく画像のセグメンテーションが可能なAI Toolkitです。Connect Toolkitではマルチモーダル実験を組み合わせられます。また、Materials Appsによる微細構造、粒径、層厚の解析も可能です。

1kV以下で強みを発揮　優れた解像度と最適なコントラスト

・イメージング・解析パフォーマンスの鍵となるのは光学カラムです。ZEISS Gemini 1電子光学系を搭載したSigmaは、特に低加速電圧において、あらゆる試料に対して優れた分解能を発揮します。
・Sigma 360の低電圧分解能の仕様は、1.9nmで500Vになりました。色収差を最小限に抑えることで、1kVの分解能で10％以上向上しています。
・低真空モードでの後方散乱検出や観察が困難な試料でも、これまで以上にイメージングが容易になりました。

非常に困難な条件でもVPイメージングを実現　解析・イメージング用NanoVP liteモード

・新登場のNanoVP liteモードと新しい検出器が、5kV以下における非導電体からの高品質データの取得を簡素化します。
・強化されたイメージングとEDS解析により取得時間が短縮され、表面感度の高い情報と、高速EDSマッピングのための一次ビーム電流が提供されます。
・aBSD1（環状後方散乱電子検出器）や次世代C2D（カスケード電流検出器）などの新しい検出器を使用することで、低加速電圧でも優れたイメージングが可能です。

仕様

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