概要
低加速電圧において高コントラストを実現
・試料の柔軟性を高めるツール
・優れたユーザーエクスペリエンス
・卓越した機能拡張性
特長
GeminiSEM 360はコアファシリティに最適な装置であり、材料科学、生命科学、産業調査で非常に幅広く利用できます。ZEISS Gemini 1電子光学系カラムが、幅広いアプリケーションと試料タイプに対応する高分解能イメージングと解析を実現します。
試料の柔軟性を高めるツール

・GeminiSEM 360はコアファシリティに最適な装置であり、材料科学、生命科学、産業調査で非常に幅広く利用できます。
・その名を冠した電子光学系デザインのGemini 1により、低加速電圧で優れた分解能、高プローブ電流で高速の高感度表面イメージングを実現します。
・Inlensの二次電子と後方散乱電子イメージングを同時に使用することで、繊細な試料でも高分解能で表面や組成の情報を収集することができます。
・低真空下(圧力可変状態)で非導電性試料をイメージングする場合でも、Inlensのコントラストを使用する必要がありません。NanoVPによって最大限の汎用性が保証され、帯電を発生させないInlensイメージングが可能となります。
優れたユーザーエクスペリエンス

・GeminiSEM 360は、優れたユーザーエクスペリエンスをお届けします。広視野で、高度に設定可能な新しいチャンバーにより、非常に大型の試料でも簡単に調べることができます。
・ZEISS ZEN Connectによるシームレスなナビゲーションとコンテキストに沿った画像ビューイング、相関顕微鏡をご活用ください。
・オートフォーカスやスマート検出器などの自動機能により、鮮明でクリアな画像を簡単に取得できます。
・180°対向に配置されたEDSポートと同一平面上のEDS/EBSD構成により、イメージングと解析の両方のワークフローを効率的に行うことができます。
・ZEISS Predictive Serviceがシステムの稼働時間を最大限に伸ばし、必要に応じて定期メンテナンスを実施します。
卓越した機能拡張性

・投資の効果を発揮するには、アップグレード可能であることが不可欠です。そこで、GeminiSEM 360をZEISS ZEN coreのソフトウェアエコシステムに組み込みました。
・ZEN Connectを利用して、マルチモーダルデータとマルチスケールデータ、高度なAIを利用したセグメンテーション用のZEN Intellesis、セグメンテーションされたデータのレポートと解析のためのZENの分析モジュールを組み合わせることができます。また、ZENデータストレージを使用すると、ラボ内の様々な機器からのデータを取り込んでプロジェクトを一元管理できます。
・APEERコミュニティのメンバーとして、他のユーザーが作成したワークフローとスクリプトにアクセスし、課題の解決を図ることが可能です。
・アップグレードパスが明確であるため、新機能がリリースされる度にシステムを改善できます。
技術仕様
| 基本仕様 | ZEISS GeminiSEM 360 |
| 分解能* | 0.6nm@30kV(STEM) |
| 0.7nm@15kV | |
| 0.5nm@15kV/DCV** | |
| 1.0nm@1kVTD | |
| 1.2nm@1kV | |
| 1.0nm@1kV/DCV** | |
| – | |
| 解析時の分解能 | – |
| Inlens BSE の分解能 | 1.2nm@1kV |
| NanoVP モードでの分解能(30 Pa) | 1.4nm@3kV |
| 1.0nm@15kV | |
| プローブ電流 | 3pA~20nA (100nA仕様も利用可能) |
| 高分解能モードでの最大実視野 | 5mm@5kVおよびWD=8.5mm |
| 倍率 | 8~2,000,000 |
** デジタル分解能(デコンボリューション済み)