QVWLI HYPER 404/606 Pro　画像測定機

概要

座標寸法測定と３D形状の非接触測定を1台で実現。
白色干渉計（White Light Interfermeter)WLI光学ヘッドを搭載した先進の高精度デュアルヘッド測定システム。

特長

高精度高分解能の非接触2D・3D測定

画像測定機に白色干渉計（WLI光学ヘッド）を用いることで、２Dの座標・寸法測定から微細領域における表面解析や小径穴の深さ、基板の配線寸法などの高精度3D測定に威力を発揮します。

様々な測定表面に対応

3DCADモデルを用いたオンラインのプログラミングに加え、オフラインでの画像およびタッチプローブのプログラミング生成ができ、クイックビジョンPro本体の稼働率向上によるリードタイムの短縮を図ることができます。

WLI測定原理

白色光を干渉対物レンズ内の参照ミラーと測定サンプルへの光束に二分割させます。
干渉対物レンズをZ方向に走査すると、測定サンプルにピントが合っている箇所にのみ、白色の干渉縞が発生します。この干渉縞強度のピーク位置をCCDカメラの各ピクセル位置で検出することで、測定物の三次元形状を算出しています。

パフォーマンス

一台二役による高効率測定の実現

座標・寸法測定は、実績のあるクイックビジョンProの画像測定機能を、全て継承しています。
画像測定に引き続き、段取り替えなしに3Ｄ測定へ移行できます。これらの連続測定は、クイックビジョンProの自動制御によりシームレスな自動測定が可能です。

測定ターゲットへの容易な狙いこみ

画像工学ヘッドとWLI光学ヘッドのオフセット量は、高精度にキャリブレーションされています。
低倍率・広視野の画像光学ヘッドで位置決めを行えば、高倍率のWLI光学ヘッドに切り換えても、ターゲット部位を見失わない効率的な測定は可能です。

高精度化技術を結集させた先進のプラットフォーム

大型ステージかつ高精度を誇る本体構造は、高精度化に有効なX軸とY軸が互いに独立した固定ブリッジ・ステージ移動構造を採用しています。
更に、安定した測定のために、エアー式オートレベリング除振台を標準装備しています。
クイックビジョンWLI Proリーズ専用の設計により、卓越した除振性能を誇ります。
大判ワークの長寸法から微細形状まで、様々な測定において高精度測定を実現します。

ソフトウェア

QVPAK

高機能と汎用性を備えた画像測定機用ソフトウェアQVPAKに、干渉縞画像取得の機能を追加しています。QVPAKで作成する測定手順プログラムは、画像測定の座標・寸法やWLI測定の3Dデータ合成、データ出力、形状・評価解析ソフトウェア（オプション）を自動制御し、高効率の測定システムをご提供いたします。

仕様