
概要
・ストロボスナップ機能が標準搭載され、高速測定が可能となったクイックビジョンの上位モデル
・測定物に瞬時にピント合わせが可能なトラッキングオートフォーカス搭載モデルを設定、大幅なスループット向上が可能
・XY本体駆動とストロボ照明を同期させることにより、ステージが停止しないノンストップ画像測定を行い、圧倒的に測定時間を短縮できるストリーム機能を装備することが可能
・デジタル変倍機能により、さらなる拡大表示が可能
・2024年 日刊工業新聞社 第54回 機械工業デザイン賞 IDEA「日本デザイン振興会賞」受賞
特長
圧倒的な機能による多様な測定を実現
標準装備の対物レンズと専用ソフトウェア(QVPAK)、さらにオプションとの組み合わせで圧倒的な機能を発揮し、多様な測定を実現します。
ストロボスナップ
光学レンズでとらえた拡大映像を、PC画面に再生。
エッジ検出やオートフォーカスなど多彩な機能による寸法測定が可能です(全機種共有)。


タッチトリガープローブ
タッチトリガープローブとの併用で、測定物を回転させずに任意の高さで側面も測定でき、従来は困難であった立体物の測定も可能です。

クロマチックポイントセンサ
白色光源の焦点距離差を応用し、急角度でも測定が可能。
また、測定物の2点の面高さを同時検出することで、薄物透明体の厚さ測定にも対応します。


白色光干渉計
測定物との間に生じる白色光の干渉を応用し、微細領域における表面解析(粗さなど)や形状(数μmの凸凹など)の高精度な3D測定が可能です。

PFF(Point From Focus)
対物レンズの位置を上げて測定物をスキャンし、高さが異なる複数の断面画像(画像コントラスト)から得た情報で3D形状のデータを取得します。

トラッキングオートフォーカス(TAF)
対物レンズからのレーザー照射による自動焦点。測定物の形状に応じて焦点が自動追従するため、ピント作業が省けて測定のスループットが向上します。

レーザ変位センサ
測定物の色などの影響を受けにくいレーザの合焦点方式を採用。センサで測定物をスキャンし、その表面の形状データを非接触で取得します。

QVインデックステーブル
測定物を回転させることで、1回の段取りで多面の自動測定を可能にします。

アプリケーション事例
ストリーム機能によるノンストップ測定例
クイックビジョンProのハイスループット測定は、半導体パッケージFO-PLPのRDL工程内の位置情報測定に適しています。またIOソフト(オプション)も充実しており、スカラロボットなどによるワークの自動搬送などシステム化が容易に行えます。


Z軸追従ハイスループット測定例
クイックビジョンProは新開発のストロボスナップ機能により、高速・高効率でエッジ検出が可能です。また、TAF(トラッキングオートフォーカス)との併用により、高さ方向に変動するエッジも自動追従して高速測定が可能です。
微細3D形状寸法測定例
クイックビジョンはPFF、WLI、CPSなどの多彩なセンシング技術により、微細な形状寸法を2D/3Dで取得が可能です。多層基板の測定事例を挙げると、配線ライン&スペースやビア径、表面粗さ測定には、白色光干渉計WLIを用いて3D形状から測定、解析が可能です。
医療機器部品測定例
微細な寸法で高信頼性が求められる医療部品。
クイックビジョンProは豊富な対物レンズバリエーションから微細な測定物で効果を発揮します。
また、従来の接触式測定機では困難な微細な輪郭形状も画像コントラストで3D測定するPFFやCPS(非接触変位センサ)で測定可能です。
