概要
1台でまとめて活用
・広い視野と高精細な画像
・迅速かつ正確な3D接触式測定
・すべての測定業務を一つのソフトウェアで
・敏感な表面の光学式測定
・短い時間で信頼性の高い測定を実現
特長
接触式高精度スキャニングセンサVAST XXTと、非接触式高精度カメラセンサDiscovery. V12を標準搭載しています。
さらに、白色光距離センサZEISS DotScanによる三次元微細構造の非接触測定も可能。
ZEISSの工業用測定機部門の定評ある測定技術と、顕微鏡部門の卓越した光学技術とが融合したオールインワン測定機です。
ZEISSレンズで測定する感動をテレセントリックズームレンズ Discovery.V12
標準搭載のDiscovery.V12 は、さまざまな材質のワークを高精度に画像測定することが可能です。
切り替え式10 段階ズームレンズによる、再現性の高い結果を実現します。また、主要倍率ではテレセントリックレンズとして使用でき、物体との距離に依存せずに正確な寸法を測定します。
全倍率で共通の長作動距離
作動距離は、全倍率で87 mm のロングディスタンスを実現。測定物との安全な距離を確保し、深い段差がある測定箇所にも対応します。
自動照明設定が可能*
コントラストが最大となる自動照明設定により、最適なエッジを検出をします。得られた照明設定を保存、2回目以降の測定に利用することで、照明設定の違いによるばらつきを抑え、均質な測定結果を得られます。
*CALYPSO2016以降が必要
光沢面でもムラなくエッジ認識
リングライトにはフレネルレンズカバーを搭載し、測定時の照明の反射ムラを軽減。測定箇所が光沢面でも、エッジをしっかりと認識します。
接触式スキャニングプローブ VAST XXT
接触式スキャニングプローブ VAST XXTを標準搭載しています。
高精度スキャニング測定が可能
画像センサでは測定が難しい深穴やワーク側面・斜め穴なども、VAST XXT で測定が可能です。スキャニング測定機能を有しているため、シングル点の測定だけでなく、形状も正確に捉えることができます。
広い精度保証温度範囲
接触式測定では、18 ℃ ～ 30 ℃の広い温度範囲で精度を保証します。
多種多様なワークを非接触、かつ高速で測定できる白色光距離センサ ZEISS DotScan（オプション）
ZEISS DotScan は共焦点の原理を応用した白色 光距離センサです。
三次元的な微細構造や、ガラスやレンズ等の透明な部品、接触式で測定は変形してしまう柔らかい部品、研磨後の光沢面など、様々なワークピースの非接触測定を実現します。
センサは測定範囲の異なる3種類から選択でき（10/3/1mm)、後からでも異なる測定範囲のセンサを追加することができます。
透明部品の板厚やガラス面奥の下地面の形状測定が可能
測定データから複数のピークを検出し、 透明ワークピースの表面形状や膜厚を測定できます。
微細形状やエッジの測定に最適（半径補正不要）
最小φ8 μm（測定範囲1mm仕様）の小さなスポット径で、微細構造や微小なエッジ部の形状を正確に測定可能です。
鏡面ワークをスプレー無しで高精度非接触測定
鏡面などの強い光沢のあるワークピースでも、スプレーを塗布せずそのまま測定できます。
フラットなワークを非接触かつ超高速で平面度測定
ワークピース表面への影響を避けるため従来はポイント測定で平面度を評価していたワークピースも、ZEISS DotScanであれば非接触かつ超高速のスキャニング測定で測定時間を大幅に短縮できます。
新機能！測定時間を大幅に削減する ZVp（ZEISS VAST probing）
接触式ZEISS VAST probingモードは、高速シングルポイントプロービングが可能になり測定タスクや測定するシングルポイントの数に応じて測定時間を大幅に削減できます。また、光学式ZEISS VAST probingモード は撮像位置合わせ速度が向上し、測定時間の大幅な削減に寄与します。
４軸スキャン対応の新しいロータリテーブル（543/863専用オプション）
オプションの専用ロータリテーブルを使用することで、O-INSPECTの持つX,Y,Zの3軸に、プログラム制御された回転軸が加わり測定効率が格段にアップします。
横置きと縦置きの両方の設置が可能
ロータリテーブルを横置き（テーブルを横に向けて設置）することで、接触式／非接触式問わずワークピースの全方向から測定できます。また、ロータリテーブルを縦置き（テーブルを上に向けて設置）した場合は、ギアや円筒形状のワークを接触式センサで高精度にスキャニング測定できます。
用途例
・精密機械加工部品
・電子部品・基板（PCB）
・医療用プラスチック部品
仕様
| 項目 | ZEISS O-INSPECT 322 | ZEISS O-INSPECT 543 | ZEISS O-INSPECT 863 | ||
| 測定範囲（mm） | X:300 Y:200 Z:200 | X:500 Y:400 Z:300 | X:800 Y:600 Z:300 | ||
| 測定精度 | VAST XXT（接触式センサ） | 長さ測定における最大許容指示誤差（μm） | 2.4+L/150(18~22℃) 2.7+L/150(18~26℃)*TVA参考値 2.9+L/150(18~30℃)*TVA参考値 | 1.9+L/250(18~22℃) 2.2+L/100(18~26℃)*TVA参考値 2.4+L/80(18~30℃)*TVA参考値 | 2.2+L/150(18~22℃) 2.5+L/100(18~26℃)*TVA参考値 2.7+L/80(18~30℃)*TVA参考値 |
| 最大許容シングルスタイラス形状誤差（μm） | 2.4 | 1.9 | 2.2 | ||
| 最大許容スキャニングプローピング誤差（μm） | 2.7τ=55 | 2.7τ=55 | 2.7τ=55 | ||
| Discovery/V12（画像センサ） | 長さ測定における最大許容指示誤差（μm） | 1.6+L/200 | 1.4+L/250 | 1.5+L/250 | |
| 長さ測定における最大許容指示誤差（μm） | 1.9+L/150 | 1.6+L/250 | 1.8+L/250 | ||
| 最大許容プローピング誤差（μm） | 1.9 | 1.6 | 1.8 | ||
| ZEISS DotScan（白色光距離センサ、オプション） | 最大許容単一方向長さ測定誤差（μm） | Z測定範囲 1mm仕様：1.9+L/150 Z測定範囲 3mm仕様：2.2+L/150 Z測定範囲 10mm仕様：3.2+L/150 | |||
| 最大許容プロービング寸法誤差（25点）（μm） | 5 | ||||
| 最大積載質量（kg） | 20 | 25 | 100 | ||
