概要
試料の形状、成分をその場で捉える「Live観察」を大幅に進化させた卓上SEM。
操作性の良さを活かしたリアルタイムでのスクリーニング測定により、“今”起きている現象を的確に捉え、次のアクションへつなげる判断を可能にします。
観察・確認・判断のスピードを飛躍的に高め、研究から品質管理まで、幅広い現場を力強く、優しく支援します。
特長
“今”が見えるかんたんSEM観察から、Live分析まで
・光学像からシームレスに視野探し
・進化した4つのLive観察（元素分析・マップ・３D・粒子）
・低真空モードでそのまま観察
“次”に進める判断につながる高品質データ
・分解能6nmを実現
・高真空モードで高精度観察・分析
・強力な自動化機能（繰り返し測定・広領域・複数箇所）
Zeromag 光学像からシームレスに視野探し
Zeromagなら光学像で視野探しができます。
SEM像に切り替わっても、標準搭載の低真空モードを使えば前処理なしで観察できます。
さらに画像調整（フォーカス・スティグマ・明るさ・アライメント）を自動で行い、鮮明なSEM画像を素早く取得できます。
進化した4つのLive観察 試料の形状、成分をその場でとらえる
01. Live Analysis 観察しながら元素分析
JEOLは、電子顕微鏡とEDSをともに自社開発している数少ないメーカーの一つです。 観察中の領域に対するX線スペクトル表示や、自動定性された主成分元素の情報を、観察画面上にリアルタイムで表示することができます。 観察と元素分析を同一画面で行えるため、操作の流れを変えることなく、スムーズに分析を進められます。
また、電子顕微鏡とEDSを統合設計しているため、NeoActionによるシームレスな自動測定を実現します。
試料：建材アスベスト
02.Live Map 元素分布をリアルタイムで把握
03. Live 3D 凸凹を即座に把握
04. Live Particle 粒子サイズを自動測定
観察像から粒子を自動抽出し、粒子径を自動で測定。粒径分布や平均値、ばらつきなどの情報をリアルタイムに取得できます。
低真空モード 前処理なしでそのまま観察
電気を通さない試料 (絶縁試料) に電子線を照射すると、試料表面に電子が溜まる「帯電」が発生し、画像が白飛び・歪み・ノイズなどの原因となります。低真空モードでは、試料室にガス、もしくは空気を導入することで帯電を抑制し、安定した観察が可能になります。
ガラスやセラミックスなどの絶縁試料に加え、食品・高分子・生体などの含水・帯電しやすい試料も、コーティング不要で観察・分析が可能です。
Auto画像調整×高真空モード×高分解能 分解能6 nmを実現
JCM-7000Plusは入射電圧（加速電圧）20 kVを追加！さらに進化した自動画像調整機能と前モデルで高評価だった高真空モードで分解能が更にup！高分解能観察と精度の高いEDS分析が得られるため、データの質を一段階レベルアップできます！
（簡易STEMホルダー使用）
試料提供：大村塗料株式会社様
高真空モード 高精度な観察・分析が可能
高真空モードでは、電子線の散乱が少なく、二次電子を効率よく検出できるため、微細構造を高倍率で鮮明に観察できます。さらにEDS分析においても定性誤差の少ない元素分析が可能です。
卓上SEMでありながら、形態観察・元素分析において高精度なデータ取得が可能です。
強力な自動化機能
Neo Action 繰り返し測定を自動化
Neo Action (オプション) は、まるでオペレーターが操作しているかのように、あらかじめ作成したフロー通りにSEMが入射電圧/信号などの条件変更、 Autoでの画像調整、位置変更しながら自動で観察/分析を行う機能です。
これにより、データ取得からレポート作成までのルーティン作業が無人化できます。
モンタージュ 広領域データを自動取得
指定したミリオーダーの広領域を自動で取得する機能です。SEMが自動でステージ移動を行い撮影し、取得したSEM像を連結して広域像/マッピングを作成します。広範囲の像を高画素で取得できるため、全体像から局所的な部分まで議論が可能であり、測定者以外にも伝わりやすいデータを取得することが可能です。
多視野分析 複数箇所を自動測定
取得条件と分析箇所を指定するだけで、異なる視野であっても複数個所の測定を自動で行うことができます。高精度なステージ制御により、安定したデータ取得が可能です。
用途
仕様
| 分解能 | 6.0nm（20kV,WD12mm,高真空モード,二次電子像） 8.0nm（20kV,WD12mm, 高真空モード, 反射電子像） |
| 写真倍率 | ×10～100,000 （128mm×96mmを表示サイズとして倍率を規定） |
| 画像モード | 高真空モード：二次電子像,反射電子像 （組成、凹凸、立体像、3D像） 低真空モード：反射電子像 （組成、凹凸、立体像、3D像） |
| 入射電圧（加速電圧） | 5kV,10kV,15kV,20kV（4段） |
| 電子銃 | タングステンフィラメント・ウェーネルト一体型グリッド |
| 試料ステージ | X-Yモーター駆動ステージ X：40mmY：40mm |
| 最大試料寸法 | 80mm径 50mm高 |
＼当社納入実績の一例／
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