Apex series　微粒子可視化システム

メーカー名：カトウ光研株式会社

概要

異物対策の効果をその場で把握。
粒子の流れや拡散、再飛散、粒子数の変化をリアルタイムに確認。対策前後の比較や原因特定をより確実にサポートできます。

浮遊粒子の流れ・拡散・再飛散などを目で確認できるため、どのタイミングで何が起きているのかを把握しやすくなります。

粒子の増減を時系列で確認できるため、作業動作や設備状態と粒子変化の関係を追いやすくなります。

対策の前後で傾向を見比べることで、発塵抑制や拡散抑制にどの程度つながったかを確認しやすくなります。

	作業中のどのタイミングで粒子が増えているか知りたい	対策によって粒子が減っているか確認したい	粒子がどこへ流れているのか把握したい
確認したいこと	作業中のどの動作で粒子が増えているのか、発塵のきっかけを把握したい	設備や運用の改善によって、粒子の量や動きに変化が出ているか確認したい	設備や運用の改善によって、粒子の量や動きに変化がでているか確認したい
Apexでの見え方	粒子の動きとともに、粒子数の変化がグラフでリアルタイムに表示されます	対策前後で、粒子の見え方と粒子数グラフの変化を比較しやすく表示できます	目では見えない粒子の流れや広がりを、映像で確認できます
できること	発塵の原因となる作業やタイミングを特定しやすくなります	対策の効果をその場で確認し、改善の方向性を検討しやすくなります	粒子の拡散経路や滞留しやすい場所の把握につながります

確認したい粒子の大きさや用途に応じて、Apex seriesでは3つのモデルを用意しています。

比較項目	AP-GR レーザー光源	AP-Yellow ルミネッセンス光源	AP-LR 赤色LED光源
主な用途	より小さな粒子まで詳しく可視化したい	発塵の原因特定や現場改善を進めたい	まずは粒子の発生を確認したい
可視化レベル	対象粒子サイズ：0.3μm以上クリーンルームクラス1～の環境	対象粒子サイズ：1μm以上	対象粒子サイズ：5μm以上
向いている環境	微細粒子まで確認したい環境（クリーン環境・コンタミ評価など）	レーザー安全対策の負担を抑えて現場改善を行いたい環境	照明が落とせない、明るい環境で発塵の有無を確認したい現場