概要
・ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡
・機械加工部品の表面粗さ・形状を非接触で短時間に測定
特長
高効率
短時間で三次元表面性状を測定。接触式測定機と比較して100倍以上の時間短縮が可能
安定性
微細粗さ形状から機械加工面までの東京精密独自の白色干渉縞ピーク検出アルゴリズム（DEAP）により、安定した形状データを取得
操作性
定評あるACCTee、SurfcomMapによる豊富な解析と抜群の操作性
こんな業界におすすめ
・機械加工部品（フライスなどの機械加工面の面性状評価）
・半導体関連（ウエハ）
・ゴムローラー
・砥石のグレイン解析
・シボ加工樹脂成形品 など
仕様
| 走査範囲（Z） | 20mm |
| 分解能（Z） | 0.1nm |
| 指示精度（Z） | 0.8±｜2H/100｜μm |
| 測定範囲（X,Y） | 約1.7×1.7mm |
| CCD画素数 | 2048×2048 |
| CCD分解能（X,Y） | 1.10μm |
| 最大測定高さ | 200mm |
