商品詳細

Product

INFINITE POSSIBILITIES

非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope

    • 形状寸法
    • 表面粗さ測定機

メーカー名:株式会社東京精密

概要

ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡
機械加工部品の表面粗さ・形状を非接触で短時間に測定

特長

高効率

短時間で三次元表面性状を測定。接触式測定機と比較して100倍以上の時間短縮が可能。

安定性

微細粗さ形状から機械加工面までの東京精密独自の白色干渉縞ピーク検出アルゴリズム(DEAP)により、安定した形状データを取得。

操作性

定評あるACCTee、SurfcomMapによる豊富な解析と抜群の操作性

こんな業界におすすめ

機械加工部品(フライスなどの機械加工面の面性状評価)
半導体関連(ウエハ)
ゴムローラー
砥石のグレイン解析
シボ加工樹脂成形品 など

仕様

走査範囲(Z)20mm
分解能(Z)0.1nm
指示精度(Z)0.8±|2H/100|μm
測定範囲(X,Y)約1.7×1.7mm
CCD画素数2048×2048
CCD分解能(X,Y)1.10μm
最大測定高さ200mm

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