クリーンルーム対応3DセンサヘッドS neox Cleanroom
2023年10月16日 5:04 PM カテゴリー： 形状寸法
S neox Cleanroom は、光学測定の分野で今までにない画期的な技術の製品です。生産現場での測定、特性評価において最高の多機能性を実現します。
信頼性と適合規格
S neoxはISO Class 1及びESDに適合するように設計されており、厳格な検査に合格しています。
最高のZ分解能
S neox Cleanroomは、オプションでZ軸用ピエゾモーターを搭載可能。更なる高性能を実現。50nmから5mmまでの厚み測定に対応しています。
自動3D測定
S neox Cleanroomは測定に最適な取得設定を見つける機能を持っており、表面に焦点を合わせるのみで、あとはS neox Cleanroomが自動で測定を行います。
仕様
対物レンズ性能 明視野
| 倍率 | 5× | 10× | 20× | 50× | 100× | 150× |
| 開口径 NA | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.90 |
| 作動距離 WD | 23.5mm | 17.5mm | 4.5mm | 1.0mm | 1.0mm | 1.5mm |
| FOV 視野（※1） | 6756 × 5652μm | 3378 × 2826μm | 1689 × 1413μm | 845 × 707μm | 338 × 283μm | 169 × 141μm |
| 空間サンプリング（※2） | 2.76μm | 1.38μm | 0.69μm | 0.34μm | 0.13μm | 0.07μm |
| 光学分解能（※3） | 1.87μm | 1.08μm | 0.47μm | 0.35μm | 0.26μm | 0.20μm |
| システムノイズ（※4） | PSI / ePSI 0.1 nm (PZTで0.01 nm) CSI 1 nm | |||||
| 最大傾斜5 | 4° | 7° | 17° | 24° | 33° | 44° |
（※1）3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野
（※2）表面のピクセルサイズ。
（※3）L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。
（※4）システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラ ーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。干渉対物レンズ、PSIの場合、10個の位相の平均です。温度制御された部屋でピエゾステージスキャナの使用した場合0.01 nmまで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED) 解像度HD VC-Eの環境振動で測定。
（※5）平滑面では最大71°まで。散乱面上で最大傾斜 86°