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非接触全周輪郭測定 MLP-3

2023年8月18日 7:14 PM  カテゴリー: 形状寸法


今までの三次元測定機や、投影器、レーザ顕微鏡では不可能な複合測定こそが、MLP-3 が得意とするフィールドです。

全周測定を可能にしたMLP-3

autofocus

完全非接触のポイントオートフォーカスプローブと高精度の5軸ステージとの組み合わせにより、あらゆるワークの全周サブμm形状測定が可能です。

表面の色/反射率に依存しない高精度測定

example

表面の反射率僅か0.5%程度のコーティングガラスから反射率90%以上の鏡面までダイレクトに計測することが可能です。

あらゆる方向からのアプローチが可能

example

ワークに合わせた最適な方向からのアプローチで、断面・三次元形状を定量的に高精度測定ができます。

測定箇所の観察が可能

measuringpoint

内蔵カメラにより測定点のレーザスポットとワーク表面の観察が常に可能で、測定箇所を正確に把握して測定ができます。

粗さ測定にて国際基準と高い相関性

ポイントオートフォーカス式は触針式の粗さ測定と高い相関性を持ち、信頼性の高いデータを取得できます。

mlp-3ptb2

測定例

・複雑形状の全周輪郭
・軟性ワークや透明体
・形状と表面性状
・切削工具測定
・設計値との比較

仕様

稼働範囲(X,Y,Z,AF)120×120×130×40mm
AF軸スケール分解能0.01㎛
レーザλ = 635nm出力 1mW以下
X-Y軸スケール分解能0.1㎛
測定原理ポイントオートフォーカス法  ISO-25178-605