複合ビーム加工観察装置 JIB-4610F
2015年3月18日 5:57 PM カテゴリー： 新製品情報
ショットキー形電子銃を搭載した高分解能SEMとFIB カラムの
コンビネーションによる高精度加工および高分解能観察
最大イオン電流 90 nAのFIBカラム搭載で大面積の高速加工が実現
最大電流値200nAの電子銃カラムを搭載し、
EDS、EBSD、CLD等（Option）による高速、高分解能分析を実現
2015年3月18日 5:57 PM カテゴリー： 新製品情報
ショットキー形電子銃を搭載した高分解能SEMとFIB カラムの
コンビネーションによる高精度加工および高分解能観察
最大イオン電流 90 nAのFIBカラム搭載で大面積の高速加工が実現
最大電流値200nAの電子銃カラムを搭載し、
EDS、EBSD、CLD等（Option）による高速、高分解能分析を実現