日本電子 高性能FE-SEM JSM-7610FPlus 特集
2017年11月24日 10:58 AM カテゴリー: 新製品情報
高分解能 観察条件での材料解析を
より向上させた高性能FE-SEM
1、高倍率での観察と多様な分析を両立
セミインレンズ形対物レンズ
・電子線を細く絞り、試料の周辺に強い磁場を作ることで、
超高分解能が得られる
High Power Optics
インレンズショットキー電界放出形電子銃※
・電子銃と低収差コンデンサーレンズを融合し、
電子銃から発生する電子を効率よく集めることが可能
・プローブ電流は、従来のショットキー電界放出電子銃の10倍
開き角最適化レンズ※
・全電流範囲で自動的に電子ビーム径を最適化し、
プローブ電流を増加しても、小さなプローブ径を維持
※日本電子特許 特許番号 第4146103
→ 安定化した観察と分析を実現
200nA以上のプローブ電流が得られる
→ 対物レンズ絞りの切替が不要
高倍率測定からEDS分析、EBSD解析まで、
高分解能用最小対物レンズ絞りのまま測定可能
2、低加速電圧での最表面観察が可能
GENTLEBEAM™モード
=低加速電圧での分解能を向上 (1kVの分解能=1.0nm)
試料にバイアス電圧を印加し、電子ビームを試料の直前で減速
・最低100Vからの低加速電圧での高分解能観察を可能
・電子線の試料内散乱領域が狭い
→ 最表面の微細構造の観察が簡単
→ 熱に弱い試料の損傷が減少
3、次世代r-filterによる信号選別
次世代r-filter
=フィルター形状の最適化を行い、従来の検出効率が最大3倍に向上
・電子線をレンズ系の中心に維持しながら、
試料から発生する二次電子、反射電子の信号を選別して検出
4、LABE(Low Angle BE)検出器による低角度反射電子像
※オプション
・極低加速電圧→試料表面の微細な凹凸情報
・高加速電圧 →試料の組成情報
5、様々なニーズに応える拡張性
・エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
低加速電圧・大電流を使用することにより、
質のいいマッピングを短時間で測定が可能
・波長分散形元素分析装置(WDS)
濃度差が分からない試料の分析が可能
・カソードルミネッセンス(CL)
CL像(=試料から発生した光を放射面鏡により集光し、検出)
の観察により、高分解能で表面の欠損などの確認が可能
・ISO14001:2015認証
・JISQ14001:2015認証
・グリーン調達
日本電子グループは、地球環境に配慮した事業を展開し、
資材調達から製品出荷、サービス、メンテナンス、および
廃棄にいたるまでのすべてにおいて、環境負荷低減活動に
取組んでおります。
構造微細化による高分解能観察条件での材料解析・生物学
ナノテクノロジー・金属・半導体・セラミックス・医学等の分野