概要
今までの三次元測定機や、投影器、レーザ顕微鏡では不可能な複合測定こそが、MLP-3 が得意とするフィールドです。
特長
全周測定を可能にしたMLP-3
完全非接触のポイントオートフォーカスプローブと高精度の5軸ステージとの組み合わせにより、あらゆるワークの全周サブμm形状測定が可能です。
表面の色/反射率に依存しない高精度測定
表面の反射率僅か0.5%程度のコーティングガラスから反射率90%以上の鏡面までダイレクトに計測することが可能です。
あらゆる方向からのアプローチが可能
ワークに合わせた最適な方向からのアプローチで、断面・三次元形状を定量的に高精度測定ができます。
測定箇所の観察が可能
内蔵カメラにより測定点のレーザスポットとワーク表面の観察が常に可能で、測定箇所を正確に把握して測定ができます。
粗さ測定にて国際基準と高い相関性
ポイントオートフォーカス式は触針式の粗さ測定と高い相関性を持ち、信頼性の高いデータを取得できます。
測定例
・複雑形状の全周輪郭
・軟性ワークや透明体
・形状と表面性状
・切削工具測定
・設計値との比較
仕様
| 稼働範囲(X,Y,Z,AF) | 120×120×130×40mm |
| AF軸スケール分解能 | 0.01㎛ |
| レーザ | λ = 635nm出力 1mW以下 |
| X-Y軸スケール分解能 | 0.1㎛ |
| 測定原理 | ポイントオートフォーカス法 ISO-25178-605 |
