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蛍光X線を用いて物質にＸ線を照射すると、物質に含まれる元素固有のＸ線が放出され、これを蛍光Ｘ線と呼ばれ、蛍光Ｘ線の量は各元素の量に依存する為、蛍光Ｘ線の強度を測定するこにより厚さを求めます。