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高分解能 観察条件での材料解析を
より向上させた高性能FE-SEM

 

 

 

 

 

 

1、高倍率での観察と多様な分析を両立

 セミインレンズ形対物レンズ

  ・電子線を細く絞り、試料の周辺に強い磁場を作ることで、
　  超高分解能が得られる

 High Power Optics

  インレンズショットキー電界放出形電子銃^※
      ・電子銃と低収差コンデンサーレンズを融合し、
          電子銃から発生する電子を効率よく集めることが可能
　  ・プローブ電流は、従来のショットキー電界放出電子銃の10倍
   開き角最適化レンズ^※
　  ・全電流範囲で自動的に電子ビーム径を最適化し、
　　  プローブ電流を増加しても、小さなプローブ径を維持

     　　　　　　　　　　　　　　　　　　※日本電子特許　特許番号　第4146103 

 → 安定化した観察と分析を実現　
　 200ｎA以上のプローブ電流が得られる

 → 対物レンズ絞りの切替が不要
     高倍率測定からEDS分析、EBSD解析まで、
     高分解能用最小対物レンズ絞りのまま測定可能
　　　　

 2、低加速電圧での最表面観察が可能

  GENTLEBEAM™モード　
  ＝低加速電圧での分解能を向上 （1kVの分解能＝1.0nm）
　   試料にバイアス電圧を印加し、電子ビームを試料の直前で減速
     ・最低100Vからの低加速電圧での高分解能観察を可能
     ・電子線の試料内散乱領域が狭い
         → 最表面の微細構造の観察が簡単
         → 熱に弱い試料の損傷が減少

 

3、次世代r-filterによる信号選別

  次世代r-filter
   ＝フィルター形状の最適化を行い、従来の検出効率が最大3倍に向上　
       ・電子線をレンズ系の中心に維持しながら、
           試料から発生する二次電子、反射電子の信号を選別して検出
      
4、LABE(Low Angle BE)検出器による低角度反射電子像 
  ※オプション

・極低加速電圧→試料表面の微細な凹凸情報
・高加速電圧　→試料の組成情報

 

5、様々なニーズに応える拡張性

・エネルギー分散型X線分析装置(EDS）
 　低加速電圧・大電流を使用することにより、
     質のいいマッピングを短時間で測定が可能
・波長分散形元素分析装置(WDS)
　 濃度差が分からない試料の分析が可能
・カソードルミネッセンス(CL)
　 CL像(=試料から発生した光を放射面鏡により集光し、検出)
     の観察により、高分解能で表面の欠損などの確認が可能
 

 

 

 

 

 

 

 

・ISO14001:2015認証

・JISQ14001:2015認証

・グリーン調達

日本電子グループは、地球環境に配慮した事業を展開し、
資材調達から製品出荷、サービス、メンテナンス、および
廃棄にいたるまでのすべてにおいて、環境負荷低減活動に
取組んでおります。

 

構造微細化による高分解能観察条件での材料解析・生物学
ナノテクノロジー・金属・半導体・セラミックス・医学等の分野