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レーザー光を試料の特定の箇所に当て、像を検出する装置です。倍率分解能は光学顕微鏡よりも高く、電子顕微鏡に比べると劣りますが、試料が持つ色情報は失わずに、観察する事が可能です。機種によっては表面粗さ測定が可能であり、観察するだけではなく、検査の用途としても今後期待されている装置です。