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発光分析装置

プラズマなどの高いエネルギー環境下におかれた元素は、光を発生したり、吸光したりという振る舞いをします。元素固有の波長を測定し元素の特定をしたり、エネルギー量によって定量測定を行います。原子吸光法やICP法、固体のままで測定できるスパーク法などがあり、測定範囲はppt~ppmオーダーと云った高い検出能力を有します。最近では検出部位に質量分析ユニットを用いたICP-MSが多元素一斉超高感度分析のための機器として使用されています。