新製品情報New product

JEOL 走査電子顕微鏡 JSM-IT500HR特集

2017年9月12日 3:11 PM  カテゴリー: 新製品情報, 表面観察

 
分析業務をより早く!楽に!
高輝度電子銃を搭載したハイスループットSEM
    

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1、素早く快適な視野探しが可能

新開発の高輝度電子銃とレンズ系を搭載し、高画質観察が可能
Zeromag機能により、
ホルダーグラフィック画像、CCD画像、SEM画像が連動

・光学像で視野探しを行い、拡大することでSEM像に切り替わる
   ため、観察対象の高倍率SEM画像に素早く到達可能

2、効率的な元素分析が可能

 Live Analysis機能を搭載し、観察中も常に元素分析結果を表示

・観察している領域の特性X線スペクトル表示と、
    自動定性された主成分の元素表示を、常に観察画面上で実行
・高倍率観察とEDS分析を分けて考える必要がない

3、広領域解析

モンタージュにより、広領域の異物把握や破面解析などの
細かい情報が取得可能

・光学像上で、観察範囲の指定が可能
・気になる視野に戻り、再解析が可能
・画像を拡大し、詳細を確認してからの解析も可能

4、取得データを一元管理可能

データ解析ソフトウェアとしてSMILE VIEW™ Labを搭載

テージ位置に連動したCCD画像、SEM画像、EDS分析結果
    などのデータを一元管理

・低倍率画像と、観察位置、観察及び分析結果を関連付けら
   れた形式でデータを保存
・過去
に取得したデータの見直しや再解析、レポートの展開も簡単    

 

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ISO14001認証取得

性能と使いやすさを進化・融合させたことにより
作業効率40%以上の向上を実現しました。(JEOL従来比)

 

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製品の全数検査、高領域の異物検査など
長い時間のかかるルーチンワークは、モンタージュを使用した
自動撮影や多視野に渡る分析で、時間の有効活用が見込めます。