JEOL 走査電子顕微鏡 JSM-IT500HR特集
2017年9月12日 3:11 PM カテゴリー: 新製品情報, 表面観察
分析業務をより早く!楽に!
高輝度電子銃を搭載したハイスループットSEM
1、素早く快適な視野探しが可能
新開発の高輝度電子銃とレンズ系を搭載し、高画質観察が可能
Zeromag機能により、
ホルダーグラフィック画像、CCD画像、SEM画像が連動
・光学像で視野探しを行い、拡大することでSEM像に切り替わる
ため、観察対象の高倍率SEM画像に素早く到達可能
2、効率的な元素分析が可能
Live Analysis機能を搭載し、観察中も常に元素分析結果を表示
・観察している領域の特性X線スペクトル表示と、
自動定性された主成分の元素表示を、常に観察画面上で実行
・高倍率観察とEDS分析を分けて考える必要がない
3、広領域解析
モンタージュにより、広領域の異物把握や破面解析などの
細かい情報が取得可能
・光学像上で、観察範囲の指定が可能
・気になる視野に戻り、再解析が可能
・画像を拡大し、詳細を確認してからの解析も可能
4、取得データを一元管理可能
データ解析ソフトウェアとしてSMILE VIEW™ Labを搭載
・テージ位置に連動したCCD画像、SEM画像、EDS分析結果
などのデータを一元管理
・低倍率画像と、観察位置、観察及び分析結果を関連付けら
れた形式でデータを保存
・過去に取得したデータの見直しや再解析、レポートの展開も簡単
ISO14001認証取得
性能と使いやすさを進化・融合させたことにより
作業効率40%以上の向上を実現しました。(JEOL従来比)